447 完美的闭环
怎么认为浸润式办法可行,如何液体穿透率不高问题?”
面对林本建急切的发问,卫向东愣住了。
我懂个屁啊......
我只不过是穿越前在网上无聊时候看过一些这样的文章,知道几个术语而已何况又过去了这么多年?
哎.....
早知道做做功课,在网上查查这方面的资料就好了,这不又到了2000年吗?已经有网了。
卫向东心里暗暗后悔。
看到卫向东略微尴尬的表情,林本建这才意识到,对方只是个企业家,科技方面纯粹就是个门外汉!”
没准这个浸润式也不知道从哪里看到的资料,觉得好玩而已。
林本建顿时有些失望,刚准备结束这个话题,突然又听到卫向东蹦出一句话:“可以用水呀......水不是很透明吗?”
“用水?水在193纳米波长的折射率是得到1.46,但问题在于157纳米波长下水的折射率是量不出来的,因为不透光......”林本建立刻反驳。
“为啥非要用157纳米?那就用193纳米下的折光呗。”卫向东小心翼翼回答道。
“你不懂,现在的主流是157纳米......”林本建随口回答了一句。
“林先生,你忽略了一点,水的折射率在一般的波长是1.3多。所以在一般波长下用水做浸润式的介质只能改进30%多,但若改成现在可用的最短波长193纳米,1.46的折射率特性,水能把解析度增加46%,”
张如京突然插话进来,他是搞芯片制造的,当然对光刻机熟悉的再也不能熟悉,现在听到两人的对话,心里顿时有了启发,插话进来。
“嗯?”
张如京的话,让林本建一愣,思索了一阵突然叫道:“对呀.....我干嘛学他们一样死攻157纳米?”
“157纳米只比193纳米短23%,换句话说,只能把解析度提高23%,用193纳米加水可以提高46%,几乎是两倍。因为波长只在水中变短为132纳米。光在进入